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硅膠密封圈

全氟醚橡膠(FFKM)

全氟醚橡膠(FFKM)其組成分子主鏈或側(cè)鏈的碳原子與氟原子結(jié)合,因此全氟彈性體在所有彈性體材料中具備最佳的耐溫、耐化性。對燃料、各類潤滑油脂、溶劑、醇類以及大多數(shù)酸和堿具有極好的耐受性。


架橋交聯(lián)體系

過氧體系架橋:最常見的FFKM架橋方式,突出的抗化學配方

三嗪體系架橋:有較好的耐熱性,突出的長效密封和耐久應力松弛性能


豪歐的FFKM主要選擇SOLVAY Tecnoflon? 系列混煉膠


Tecnoflon? PFR 94及 & Tecnoflon?PFR 06HC

     Tecnoflon? PFR94和Tecnoflon? PFR 06HC專為化工、石油及天然氣行業(yè)而設(shè)計,是所有橡膠中最高的耐化學性;特別是當與極性流體如有機酸和無機酸、酮、醛、酯類、醚類、醇類、燃料、溶劑、酸性氣體、碳氫化合物、蒸汽、熱水、乙烯和丙烯氧化物和混合工藝流體時,其表現(xiàn)勝過FKM材料。PFR94和PFR06HC在70C°胺中效果差不多,但當溫度高于70℃時接觸胺類,強氧化性溶劑,,PFR06HC比PFR 94表現(xiàn)較好。PFR94通過FDA認證可以用于食品,PFR06HC主要應用在工業(yè)上。溫度范圍從-10°C到+230°C


Tecnoflon? PFR 95HT

      Tecnoflon?PFR95HT具有優(yōu)越的耐熱性,能在高溫下保持密封性能,優(yōu)于其它高溫蒸汽條件下的高溫化合材料。PFR95H可以長期耐280C°,短期耐300C°。它可以在很寬的范圍內(nèi)提供很寬的耐化學性各種介質(zhì),包括酸、酮,醛、酯、醚、甲醇、溶劑、酸性氣體,碳氫化合物、水蒸汽、熱水和混合工藝流體以及優(yōu)異的耐熱性。


Tecnoflon? PFR5910M & Tecnoflon?PFR5920M

      Tecnoflon? PFR5910M 和PFR5920M 特別為半導體行業(yè)而設(shè)計,不使用礦物填料,以避免在侵蝕性Plasma條件下在腔室中產(chǎn)生顆粒。Solvay的共凝聚法專有技術(shù),可以采用小于40nm的PTFE顆粒,確保這些粒子很好地分散,實現(xiàn)與礦物填充全氟橡膠同等的機械性能,并優(yōu)于市場上的其它材料。PFR 5910M 和 PFR 5920M 兩者是小分子量橡膠,同時相對其他幾種全氟醚橡膠有較高的透明度。兩者的區(qū)別主要在于填充的PTFE含量不同。


Tecnoflon? PFR LT 

    專為滿足石油與天然氣行業(yè)最新、最嚴格的要求而開發(fā)。Solvay專有的 MOVE 技術(shù)使全氟橡膠獲得了出色的耐化學性和無與倫比的、更高的低溫柔韌性(TR10 =-30°C)。使用溫度范圍在-30℃~+230℃。


Tecnoflon?X1055B

    Tecnoflon? PFR X1055B是一種新型全氟彈性體(FFKM)在極端情況下提供出色的耐熱性、更低的壓縮永久變形和增強的密封力保持力溫度。Tecnoflon? PFR X1055B 適用于大多數(shù)應用溫度范圍為 –10°C 至 +315°C。

    除了出色的耐熱性外,它還可以提供廣泛的在各種介質(zhì)中的耐化學性,包括酸、苛性堿、酮、醛、酯、醚、醇、溶劑、酸性氣體和碳氫化合物。然而,即使如此優(yōu)異的耐化學性能,PFR1055B也不建議的含水介質(zhì)和胺應用。這種獨特的耐熱性和耐化學性組合使 Tecnoflon? PFR X1055B 成為首選密封材料用于高溫化學和碳氫化合物加工工業(yè)和航空航天應用.

    同時Tecnoflon? PFR X1055B其極高的清潔度(低金屬離子含量低,可萃取物低)及其卓越的熱性能穩(wěn)定性及其抗等離子體性使 Tecnoflon? PFRX1055B是一種非常適合大多數(shù)干等離子體的密封材料(ETCH、PECVD、LPCVD、金屬 CVD、PVD、ALD、Plasma)和半導體制造行業(yè)的高溫熱過程。


Tecnoflon?X1065O & Tecnoflon?X1075O

    Tecnoflon?X1065O & Tecnoflon?X1075O全氟彈性體(FFKM)設(shè)計用于純度高的性能應用需要耐熱穩(wěn)定性,主要用于半導體制造應用。 PFR X1065O和PFR X1075O是Tecnoflon? 5910MPFR和5920M耐熱性的升級;它們都適合在+300°C的溫度范圍內(nèi)使用。

    PFR X1065O和PFR X1075O包含非常精細分散的PTFE作為有機填料:它在不使用傳統(tǒng)填料,如炭黑或礦物填料,如BaSO4、TiO2、SiO2、氧化鋁和硅酸鋁,因為在Plasma攻擊下產(chǎn)生particle,導致腔室顆粒污染。另一方面,PTFE和FFKM具有相似的蝕刻速率,因此聚合物填充化合物可以被完全蝕刻以形成揮發(fā)物,顯著降低了顆粒產(chǎn)生的可能性。

    Tecnoflon? PFR X1065O和PFR X1075O的主要特性如下所示:

        ?高純度(可提取物含量低)

        ?非常好的耐氧和耐氟等離子體性

        ?粒子生成量極低

        ?低放氣

        ?低摩擦

        ?高耐磨性

        ?低模量

        ?卓越的機械性能

    原料聚合物的基本特性如下:在極端清潔與在很高的溫度下具有良好的等離子體和耐化學性溫度(300°C)使Tecnoflon? PFR X1065O和PFR X1075O是同類中最好的密封材料,適用于大多數(shù)干式蝕刻工藝(Plasma Etching、PECVD、LPCVD、金屬CVD、PVD,ALD)和濕法半導體工藝(晶片清潔、聚合物去除、濕法蝕刻、拋光)。

    兩者的區(qū)別主要在于填充的PTFE含量不同。


Tecnoflon?X2160B

    Tecnoflon? PFR2160B是一種新型全氟彈性體(FFKM)提供卓越的耐熱性和更低的壓縮永久變形,極端溫度下保持長久的密封保持力。

    PFR 2160B適用于大多數(shù)溫度范圍從-10°C到+315°C的應用(短期應用甚至可達350℃),在非常高溫下提供長期溫度的密封功能。

    除了出色的耐熱性,它還可以提供廣泛的在多種介質(zhì)中的耐化學性,包括酸、酮、醛、酯、醚、醇,溶劑、酸性氣體和碳氫化合物。注意,即使如此優(yōu)異的耐化學性能,PFR 2160B也不建議的含水介質(zhì)和胺應用。

    Tecnoflon? PFR 2160B這種獨特的耐熱性和耐化學性制造密封產(chǎn)品推薦應用于高溫化學和碳氫化合物加工工業(yè)以及航空航天應用。

    由于 PFR 2160B極度清潔(低金屬離子和低的可提取物)及其優(yōu)越性的熱穩(wěn)定性及其抗Plasma性能, PFR 2160B非常適合大多數(shù)干燥環(huán)境的Plasma(etching、PECVD、LPCVD、metal CVD、PVD、ALD、Plasma Cleans)和高溫熱處理半導體制造業(yè)。

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